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                  白光干涉薄膜厚度測試儀

                  簡要描述:白光干涉薄膜厚度測試儀,TF200根據反射回來的干涉光,用反復校準的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm,可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜,還可以測量n和k值。

                  • 產品型號:
                  • 廠商性質:經銷商
                  • 更新時間:2021-08-30
                  • 訪  問  量:158

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                  產地類別國產應用領域醫療衛生,生物產業

                  儀器介紹   

                      TF200薄膜厚度測量系統利用薄膜干涉光學原理,對薄膜進行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線。TF200根據反射回來的干涉光,用反復校準的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm,可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜,還可以測量n和k值。


                  產品特點

                  快速、準確、無損、靈活、易用、性價比高

                  白光干涉薄膜厚度測試儀

                  應用領域

                  半導體(SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS,SOI等)

                  LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)

                  LED (SiO2、光刻膠ITO等)

                  觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等)

                  汽車(防霧層、Hard Coating DLC等)

                  醫學(聚對二甲苯涂層球囊/導尿管壁厚藥膜等)


                  技術參數

                  型號

                  TF200-VIS

                  TF200-EXR

                  TF200-DUV

                  TF200-XNIR

                  波長范圍

                  380-1050nm

                  380-1700nm

                  190-1100nm

                  900-1700nm

                  厚度范圍

                  50nm-40um

                  50nm-300um

                  1nm-30um

                  10um-3mm

                  準確度1

                  2nm

                  2nm

                  1nm

                  10nm

                  精度

                  0.2nm

                  0.2nm

                  0.2nm

                  3nm

                  入射角

                  90℃

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                  透明或半透明

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                  透明或半透明

                  測量模式

                  反射/透射

                  反射/透射

                  反射/透射

                  反射/透射

                  光斑尺寸2

                  2mm

                  2mm

                  2mm

                  2mm

                  是否能在線

                  掃描選擇

                  XY可選

                  XY可選

                  XY可選

                  XY可選

                  注:1.取決于材料0.4%或2nm之間取較大者。

                         2.可選微光斑附件。


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